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H60六自由度并聯機構壓電偏擺臺
H60系列六自由度并聯機構，是θx, θy, θz, X, Y, Z六軸運動工作臺，通過六支壓電促動器的協調伸縮實現空間內六個自由度的運動，臺體結構緊湊，三種規(guī)格型號可供選擇，閉環(huán)型號定位精度高，是六自由度微操作、微電子精密加工等應用。H60.XYZTR5S/K是H60系列中直線與角度位移一款。
產品特點
六維θx, θy, θz, X, Y, Z軸運動
小耦合
閉環(huán)定位精度高
誤差無積累
H60六自由度并聯機構壓電偏擺臺
